产品类型:VGT-6048F
清洗方法:
十全十美的事物不在话下;百分之百的机会也不在一时之间;而是勇于抓取其中之一的机会,哪怕是0.99%的机遇。所以,硅片超声波清洗机主要抓取了本身仅存在的优势:“物理清洗和化学清洗”。
物理清洗分为三种:
①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。
②高压清洗:是用液体喷射片子表面,喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用,片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用,靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。
③超声波清洗:超声波声能传入溶液,靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是,从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段,清洗效果更好。
化学清洗:是为了除去原子、离子不可见的污染,方法较多,有溶剂萃取、酸洗(硫酸、硝酸、王水、各种混合酸等)和等离子体法等。其中双氧水体系清洗方法效果好,环境污染小。一般方法是将硅片先用成分比为H2SO4:H2O2=5:1或4:1的酸性液清洗。清洗液的强氧化性,将有机物分解而除去;用超纯水冲洗后,再用成分比为H2O:H2O2:NH4OH=5:2:1或5:1:1或7:2:1的碱性清洗液清洗,由于H2O2的氧化作用和NH4OH的络合作用,许多金属离子形成稳定的可溶性络合物而溶于水;然后使用成分比为H2O:H2O2:HCL=7:2:1或5:2:1的酸性清洗液,由于H2O2的氧化作用和盐酸的溶解,以及氯离子的络合性,许多金属生成溶于水的络离子,从而达到清洗的目的。
适用范围:
威固特硅片超声波清洗机主要适用于硅片、精密元器件、电子真空器件等等。
技术参数:
超声波功率:2400W
超声波频率:28,40,60KHZ
换能器数量:48PCS
电源电压:单相22VAC,三相380VAC